Femto Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systemst. for plasma cleaning, activate, etching and coating

Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systems Technische Daten Gehause Tischgerat Breite ca. 310 - 560 mm Tiefe ca. 420 - 600 mm (570 - 750 mm inkl. Stecker) Hohe ca. 330 - 860 mm Standgerat Breite ca. 600 mm (750 mm inkl. Stecker) Tiefe ca. 800 mm Hohe ca. 1700 mm Kammervolumen Ca. 1,9 - 6 Liter Spannungsversorgung 230 V fur Tischgerat, 400 V / 3 Phasen fur Standgerat Vakuumkammern Edelstahl Rund mit Deckel 0 100 mm, L 278 mm oder 600 mm Rechteckig, Tur mit Scharnier B 103 mm, T 285 mm, H 103 mm Aluminium Rechteckig, Tur mit Scharnier 0 110 mm x 120 mm, L 280 mm oder 600 mm) Quarzglas...