Tetra 100lederdruck asma Svsteme ow pressure plasma systems for plasma cleaning, activation, etching and coating

Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systems Technische Daten Abmessungen Gehause (19" Rack) (mit Anschlussen) Breite ca. 600 mm Hohe ca. 1700 - 2100 mm Tiefe ca. 800 mm Gewicht ca. 200-300 kg (ohne Pumpe) Vakuumkammern Edelstahl rund, Tur mit Scharnier Durchmesser ca. 400 mm Lange ca. 625 mm Edelstahl rechteckig, Tur mit Scharnier Breite ca. 400 mm Hohe 400 mm Tiefe 625 mm Kammervolumen Ca. 80 - 100 l Gaszufuhrung Mass Flow Controller (MFC) Generator Frequenz 80 kHz Leistung 1000 oder 3000 W 13,56 MHz Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W; 0 - 1000 W 2,45 GHz Leistung 0 - 1200 W Alle Generatoren...