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Diener electronic
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Tetra 30lederdruckasma ow pressure plasma systems for plasma cleaning, activation, etching and coating
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Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systems Technische Daten Abmessungen Gehause (19" Rack) (mit Anschlussen) Breite ca. 600 mm Hohe ca. 1700 mm Tiefe ca. 800 mm Gewicht ca. 250 kg (ohne Pumpe) Vakuumkammern Edelstahl oder Aluminium Rechteckig, Tur mit Scharnier Breite ca. 305 mm Hohe ca. 300 mm Tiefe ca. 370 oder 625 mm Kammervolumen Ca. 34 l - 57 l Gaszufuhrung Mass Flow Controller (MFC) Generator Frequenzen 80 kHz Leistung 1000 W oder 3000 W 13,56 MHz Leistung 0 - 300 W; 0 - 600 W 2,45 GHz Leistung 0 - 600 W; 0 - 1200 W Alle Generatoren sind stufenlos regelbar von 0 - 100 %...
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