Zepto (Low Cost / Low Budget) Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systems for plasma cleaning, activation, etching and coating

LGpiU (Low Cost / Low Budget] Niederdruck Plasma Systeme Low pressure plasma systems Technische Daten Gewicht Ca. 15 kg (ohne Pumpe) Vakuumkammern Quarzglas (UHP) rund mit Deckel Durchmesser 105 mm Lange 200 mm oder 300 mm Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel Durchmesser 105 mm Lange 200 mm oder 300 mm W6 Durchmesser 160 mm Lange 180 mm Kammervolumen Ca. 1,7 - 2,6 Liter Gaszufuhrung Nadelventile Mass Flow Controller (MFCs) Generator Frequenz 40 kHz Leistung 0 - 100 W 13,56 MHz Leistung 0 - 200 W Elektroden Ein Elektrodenpaar auBerhalb der Vakuumkammer Steuerung Manuell PCCE-Steuerung (Microsoft...